2015年6月16至-17日，國(guo)家(jia)(jia)科技重(zhong)大(da)專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)“極大(da)規模集成電路制造(zao)裝備及成套工藝”（簡稱“02重(zhong)大(da)專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)”）主(zhu)管部門(men)——02重(zhong)大(da)專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)實(shi)(shi)施(shi)管理(li)辦(ban)(ban)公(gong)室(shi)和(he)總(zong)體組(zu)組(zu)織專(zhuan)(zhuan)家(jia)(jia)對有研(yan)總(zong)院(yuan)牽頭承擔并由有研(yan)半導體材料有限公(gong)司(si)實(shi)(shi)施(shi)的 “硅(gui)材料設備應用(yong)工程” 項(xiang)(xiang)目(mu)(mu)(mu)進行(xing)了正(zheng)式(shi)驗收，參會(hui)人(ren)(ren)員包括(kuo)任(ren)務(wu)和(he)財務(wu)專(zhuan)(zhuan)家(jia)(jia)組(zu)、地方科技主(zhu)管部門(men)人(ren)(ren)員，項(xiang)(xiang)目(mu)(mu)(mu)責任(ren)專(zhuan)(zhuan)家(jia)(jia)，項(xiang)(xiang)目(mu)(mu)(mu)（課題(ti)）負責人(ren)(ren)，項(xiang)(xiang)目(mu)(mu)(mu)（課題(ti)）任(ren)務(wu)/財務(wu)管理(li)人(ren)(ren)員，專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)實(shi)(shi)施(shi)管理(li)辦(ban)(ban)公(gong)室(shi)和(he)總(zong)體組(zu)領導葉甜春總(zong)師和(he)王曦院(yuan)士到會(hui)。驗收環(huan)節包括(kuo)現場測試、任(ren)務(wu)驗收、財務(wu)驗收。與(yu)會(hui)專(zhuan)(zhuan)家(jia)(jia)一致同意項(xiang)(xiang)目(mu)(mu)(mu)及七(qi)個(ge)課題(ti)均(jun)通過(guo)驗收，并評價為(wei)“優秀”分數。
“硅(gui)(gui)材料設(she)備(bei)(bei)應用(yong)工(gong)程”項目面向90-65nm極(ji)大規模集成(cheng)電路用(yong)300mm硅(gui)(gui)單(dan)晶及(ji)拋光(guang)(guang)片制(zhi)備(bei)(bei)技術需求，開發成(cheng)功(gong)國(guo)產(chan)首臺(tai)套300mm硅(gui)(gui)單(dan)晶制(zhi)備(bei)(bei)或(huo)硅(gui)(gui)片加工(gong)的(de)(de)(de)單(dan)晶生長裝備(bei)(bei)、多(duo)線切割(ge)機(ji)、精密(mi)磨削機(ji)、雙面拋光(guang)(guang)機(ji)、單(dan)面精密(mi)拋光(guang)(guang)機(ji)、高溫立式退火爐，填補了(le)(le)國(guo)內(nei)空白，同時建成(cheng)300mm硅(gui)(gui)材料設(she)備(bei)(bei)驗(yan)證(zheng)平臺(tai)，由下家考核(he)上家，完成(cheng)生產(chan)環境下的(de)(de)(de)驗(yan)證(zheng)，并實(shi)現示范應用(yong)。項目形成(cheng)了(le)(le)近百項核(he)心專利，打造了(le)(le)工(gong)藝(yi)與(yu)設(she)備(bei)(bei)緊密(mi)融合的(de)(de)(de)創新團(tuan)隊，建立了(le)(le)300mm硅(gui)(gui)材料設(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)產(chan)業(ye)(ye)化平臺(tai)，實(shi)現了(le)(le)半(ban)導體(ti)領(ling)域(yu)的(de)(de)(de)直(zhi)接銷售(shou)和在光(guang)(guang)電、光(guang)(guang)伏等泛半(ban)導體(ti)領(ling)域(yu)的(de)(de)(de)輻射推廣應用(yong)，帶動了(le)(le)各課題單(dan)位的(de)(de)(de)快速(su)發展。項目的(de)(de)(de)實(shi)施將促進我(wo)國(guo)半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)提升(sheng)，為我(wo)國(guo)大直(zhi)徑(jing)硅(gui)(gui)材料產(chan)業(ye)(ye)化發展奠定基礎(chu)。項目的(de)(de)(de)成(cheng)功(gong)驗(yan)收也進一步鞏(gong)固了(le)(le)有研(yan)總院在國(guo)內(nei)半(ban)導體(ti)材料界的(de)(de)(de)龍頭(tou)地(di)位。
該項(xiang)目是(shi)一(yi)(yi)次(ci)鏈(lian)條式創新的(de)有(you)益嘗試，采用(yong)(yong)用(yong)(yong)戶牽頭模式，集(ji)合了浙江晶盛(sheng)、中電45所等多家國內設備制造單位，是(shi)一(yi)(yi)次(ci)協作(zuo)良(liang)好(hao)的(de)集(ji)團作(zuo)戰。專項(xiang)實施辦公(gong)室和總(zong)體組領(ling)導(dao)認為，有(you)研半導(dao)體公(gong)司在其中發(fa)揮了重要(yao)作(zuo)用(yong)(yong)，并希望(wang)各設備的(de)商(shang)業應(ying)用(yong)(yong)和進一(yi)(yi)步創新要(yao)繼續跟進。