導師姓名

張果虎

性別

男

出生(sheng)年(nian)月

1967年12月(yue)

所在室(shi)所

半導體材料國家工程研(yan)究中心

技術職稱

教(jiao)授級高級工程(cheng)師

招生專業(ye)

材(cai)料科學與工程

聯(lian)系電話(hua)

010-82087080

E-mail

zhangguohu@gritek.com

研(yan)究方向

1.大直徑硅單晶制備(bei)技術研究

2.大尺寸硅片加工技術研究(jiu)

個人簡(jian)況

1990年畢業(ye)(ye)于中(zhong)南工(gong)(gong)業(ye)(ye)大(da)學(xue)應(ying)用物(wu)理專業(ye)(ye)，獲學(xue)士(shi)學(xue)位(wei)。2004年畢業(ye)(ye)于中(zhong)國(guo)人(ren)民大(da)學(xue)獲工(gong)(gong)商管(guan)理碩士(shi)學(xue)位(wei)，正高級(ji)工(gong)(gong)程師，國(guo)務院特殊津貼(tie)專家。研(yan)究課題主要圍(wei)繞：1）大(da)直徑單晶性能研(yan)究、工(gong)(gong)藝研(yan)究、熱場設計(ji)、缺陷控制；2）大(da)尺寸硅(gui)片的損(sun)傷控制、精密(mi)加工(gong)(gong)、潔(jie)凈技(ji)術技(ji)術研(yan)究。

長期從事半(ban)導體硅材料及工(gong)(gong)程(cheng)化(hua)技術研究(jiu)。先后參(can)與和承擔了國家(jia)“八五”、“九(jiu)五”、“十(shi)五”、“908”、“909”和“國家(jia)示范工(gong)(gong)程(cheng)”等國家(jia)重大攻關課(ke)題，研制成(cheng)功了國內第(di)一(yi)根直(zhi)徑6英(ying)寸、8英(ying)寸、12英(ying)寸和16英(ying)寸硅單晶(jing)。參(can)與成(cheng)功建設(she)具有(you)自主(zhu)知識產權的(de)國內第(di)一(yi)條6、8英(ying)寸硅單晶(jing)拋光片生(sheng)產線(xian)。

建立(li)了我國(guo)(guo)第一條300mm硅(gui)材料(liao)生產線，開發(fa)出全球領(ling)先的450mm硅(gui)單(dan)晶(jing)生長技術。主持國(guo)(guo)家科(ke)技重(zhong)大專項(xiang)“200mm硅(gui)片(pian)產品技術開發(fa)與產業(ye)(ye)化能力提(ti)升”項(xiang)目(mu)，率先實現200mm硅(gui)片(pian)在國(guo)(guo)內的產業(ye)(ye)化。建立(li)我國(guo)(guo)首個300mm硅(gui)材料(liao)設(she)備(bei)研(yan)制平臺(tai)，推進了半導體(ti)硅(gui)材料(liao)用裝(zhuang)備(bei)（300mm單(dan)晶(jing)爐等(deng)）和(he)原(yuan)輔(fu)材料(liao)（石英坩堝、化學試劑等(deng)）的國(guo)(guo)產化應用。

榮(rong)獲(huo)十余項(xiang)國家及部級科研成果獎勵(li)。授權專(zhuan)利(li)30余項(xiang)，其(qi)(qi)中(zhong)參與發明創造(zao)的“一種用(yong)于(yu)直拉硅單(dan)晶(jing)制(zhi)備中(zhong)的摻雜方法及其(qi)(qi)裝置”獲(huo)2008年第十屆中(zhong)國專(zhuan)利(li)金獎。發表論文30余篇。2009年評選為有色(se)金屬行業勞動模范。

Update 2020.02