“硅(gui)(gui)材(cai)(cai)料(liao)設備(bei)(bei)(bei)應(ying)(ying)用工(gong)(gong)程”項(xiang)(xiang)目面(mian)向90-65nm極大規模(mo)集成(cheng)(cheng)電路用300mm硅(gui)(gui)單(dan)(dan)(dan)晶及拋(pao)光片(pian)(pian)制備(bei)(bei)(bei)技(ji)術需(xu)求，開發成(cheng)(cheng)功(gong)國產首臺套(tao)300mm硅(gui)(gui)單(dan)(dan)(dan)晶制備(bei)(bei)(bei)或硅(gui)(gui)片(pian)(pian)加工(gong)(gong)的(de)(de)單(dan)(dan)(dan)晶生(sheng)長裝(zhuang)備(bei)(bei)(bei)、多(duo)線切割(ge)機(ji)(ji)、精(jing)密(mi)磨(mo)削機(ji)(ji)、雙(shuang)面(mian)拋(pao)光機(ji)(ji)、單(dan)(dan)(dan)面(mian)精(jing)密(mi)拋(pao)光機(ji)(ji)、高溫立式退火爐，填補了(le)國內空白，同時(shi)建成(cheng)(cheng)300mm硅(gui)(gui)材(cai)(cai)料(liao)設備(bei)(bei)(bei)驗證(zheng)(zheng)平臺，由(you)下家(jia)考核(he)上家(jia)，完(wan)成(cheng)(cheng)生(sheng)產環(huan)境下的(de)(de)驗證(zheng)(zheng)，并實現示范(fan)應(ying)(ying)用。項(xiang)(xiang)目形成(cheng)(cheng)了(le)近百項(xiang)(xiang)核(he)心專利，打造了(le)工(gong)(gong)藝與(yu)設備(bei)(bei)(bei)緊(jin)密(mi)融合的(de)(de)創新團(tuan)隊，建立了(le)300mm硅(gui)(gui)材(cai)(cai)料(liao)設備(bei)(bei)(bei)的(de)(de)產業化平臺，實現了(le)半(ban)導(dao)體領(ling)域的(de)(de)直(zhi)接(jie)銷售(shou)和在光電、光伏(fu)等泛半(ban)導(dao)體領(ling)域的(de)(de)輻射推廣(guang)應(ying)(ying)用，帶(dai)動了(le)各課(ke)題單(dan)(dan)(dan)位(wei)的(de)(de)快(kuai)速發展(zhan)。項(xiang)(xiang)目的(de)(de)實施將促進(jin)我國半(ban)導(dao)體設備(bei)(bei)(bei)的(de)(de)提升(sheng)，為(wei)我國大直(zhi)徑硅(gui)(gui)材(cai)(cai)料(liao)產業化發展(zhan)奠(dian)定(ding)基礎(chu)。項(xiang)(xiang)目的(de)(de)成(cheng)(cheng)功(gong)驗收也(ye)進(jin)一步鞏固了(le)有研總院在國內半(ban)導(dao)體材(cai)(cai)料(liao)界的(de)(de)龍頭地位(wei)。